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該閥10mm 寬，產品尺寸小、設計緊湊，重量輕；可以真空, 正壓兩用；無油潤滑、發塵量少，泄漏量少，符合半導體行業的潔凈室環境要求。
- 響應速度快且工作穩定，最快可達1.5ms
- 使用壽命長，超過5億次
- 大流量
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